山東大學(xué)新材料實(shí)驗(yàn)室不銹鋼特種氣體配氣柜設(shè)備的現(xiàn)狀
原不銹鋼自動(dòng)配氣系統(tǒng)的材質(zhì)為316L,配合減壓閥裝置,流量計(jì)和旁路管道分支,管線錯(cuò)綜復(fù)雜,標(biāo)識(shí)不明顯,且氣體流量計(jì)的精度與現(xiàn)實(shí)不符,使用起來(lái)非常不方便。
山東大學(xué)新材料實(shí)驗(yàn)室不銹鋼特種氣體柜的設(shè)計(jì)要求
如圖所示,配氣柜的功能要達(dá)到將H2,CH4,N2,CO2四種氣體的任意兩種進(jìn)行充分混合后輸出混合氣,可達(dá)到自動(dòng)氣體配氣設(shè)備的使用要求,對(duì)于特種氣體配氣設(shè)備的定制,采用316L不銹鋼氣體管道和減壓控制系統(tǒng),設(shè)備研發(fā)定制需與甲方實(shí)際儀器設(shè)備的使用要求,根據(jù)配置比例和流量要求,出具設(shè)備清單價(jià)格進(jìn)行比對(duì)。
項(xiàng)目為山東大學(xué)新材料實(shí)驗(yàn)室氣體配氣裝置配氣箱的設(shè)計(jì)與安裝,在設(shè)計(jì)智能氣體混氣配氣設(shè)備之前,混合氣體配氣柜需要以下幾個(gè)幾項(xiàng)來(lái)做溝通,達(dá)到多通量動(dòng)態(tài)標(biāo)準(zhǔn)氣體配氣箱的使用要求和標(biāo)準(zhǔn)。
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
---|---|---|
1 | 管道氣體種類 | 此項(xiàng)目有H2,CH4,N2,CO2四種氣體 |
2 | 壓力表 | 量程(MPa)根據(jù)儀器的使用壓力來(lái)定 |
3 | 質(zhì)量流量計(jì) | 量程SCCM 數(shù)顯 可設(shè)置,根據(jù)客戶使用要求 |
4 | 管徑 | 口徑1/4或3/8 |
5 | 管道材質(zhì) | 316L,BA級(jí)或EP級(jí),EP級(jí)半導(dǎo)體行業(yè)多選擇 |
6 | 各種閥門(mén) | 依照管徑及圖示選擇 |
7 | 氣體柜大小 | 配氣柜的尺寸大小,分為落地式或桌面式,根據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)情況定制定做均可 |
大學(xué)實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)氣體配氣設(shè)備定制圖
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